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新镀膜机到了，如何让它正常生产？

新镀膜机到了，如何让它正常生产？

     新镀膜机到了，如何让它正常生产？

     1）、正确无误的安装设备； 

     2）、检查水、电、气是否符合要求；按上少下多的原则初步调整布气孔 

     3）、按说明说要求检测真空性能；若不符合要求，排除故障，使之符合要求； 

     4）、测试溅射电源；并使之与控制部分匹配； 

     5）、确定本底真空：实无油轴承际使用中以可以起靶为标准，一般定在1.0×帕左右，新机器定在6.7×以下； 

     6）、关光栏阀，确定氩气流量范围；认为真空室内没有其他气体就可以了。本底达到后，开光栏阀，此时压强会自然上升，当压强稳定后，记录压强值；此值的5--15倍既可作为工作压强，通氩气，使真空室的压强达到工作压强，此时的流量为氩气流量范围,如：打开光栏阀后，压强稳定在3.0×帕，工作压强可定为0.03×5--15=0.15--0.45帕，通入氩气，使真空室压强达到0.15--0.45帕，流量为30--60，则氩气范围定为30--60； 

     7）、洗靶；正常的洗靶（炼靶）方式就不说了，说一下尽量快的完成洗靶吧：安装靶的时候，外包装不要拆下（以免污染靶材），安装完成后再拆掉；真空室清理干净（最起码靶座、靶帽周围要干净）；抽真空时真空度要高于正常工作时的本底真空度（比如正常在1.0负2，洗靶时达到6.7负3），在洗靶过程中 可以将氩气流量加大，并关掉光栏阀，电流一般从安慢慢往上加，一开始可以加的快一点，稳定后再加，一直到正常值，电压会稍高一点的，是正常的（也有低的），可以将工艺电压提高，恢复生产，做的过程再将电压逐渐降低。一般洗靶10分钟左右就好了，而且这一炉管子还是可以用的，若将靶材抛光，洗的会更快   

     8）、按以下所讲方法确定氮气流量、电压、电流，工艺时间； 

     本底真空：实际使用中以可以起靶为标准，一般定在0.01帕左右，  

     氩气：认为真空室内没有其他气体就可以了。本底达到后，开光栏阀，此时压强会自然上升，当压强稳定后，记录压强值；此值的5--15倍既可作为工作压强，通氩气，使真空室的压强达到工作压强，此时的流量为氩气流量范围,如：打开光栏阀后，压强稳定在0.03帕，工作压强可定为0.03*5--15=0.15--0.45帕，通入氩气，使真空室压风冷柴油机强达到0.15--0.45帕，流量为30--60，则氩气范围定为30--60；  

     氮气：起靶之后呈梯度均匀的通入氮气，并记录每增加梯度流量（比如2)时的电压值（比如：流量分别注入0,2,4,6···40,42,44,46··52,54；电压分别为420,420,419····295,290,290,290，··290,290）；则290伏为拐点电压，选择梯度变化的电压值（如420V,400V,380V,360V···320V，290V）所对应的流量值作为吸收层流量， 

     如此选择一般为渐变膜，，现在一般做干涉膜，选择时，可以将最后一层跨度为前面跨度的倍以上，（如420，390,360,290），以此电压对应的流量为氮气流量值     时间：首先最后一层一般要看颜色定时间的，纯铝层以不透明为度，记录这个时间，便为第一层（高反射层）时间（主要对红外不透明就好了），吸收层总时间一般接近纯铝层（厚度不足高反射层的一般），一般定为高吸收时间低于低吸收的时间，这个时间和流量还要根据吸收率、发射率进行调整，可以按照中午发的东西调整 

     电流：电流会随着拐点电压的确立而确定，，一般也需要根据吸收率再调整。主要是根据靶基距来定功率的，但是从经验来讲，700机在30安左右，850机在40安左右，1050在50安左右，初步定好电流后，再根据流量、隔离配电器吸收率去调整，当然还要看电源的能力，最好不要超过电源额定电流塑料薄膜、电线电缆、防水卷材、金属丝、纸箱等材料的各种物理机械性能测试的85%，以便保护电源。 

     9）、输入工艺，进行调试，（按以发过的工艺调试方法），直至出合格产品.。 

     尽量少的通入反应气体流量，提高溅射功率、使用中频电源等方法可以防止靶中毒。

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